一种钽靶材织构评价方法的模型构建

摘要

研究了一种钽靶材织构评价方法模型,关注{100}、{110}、{111}三种面织构的组份含量和分布均匀性,并对三种织构进行了定义,规定晶界角度定义为≤2°,组份含量取与标准织构取向差小于15°的晶粒的百分含量;同时,对取样方法与测试方法进行了规定,依据本模型,可通过织构分布折线图、15°取向图和IPF图来对钽靶材单点与整靶织构分布情况进行综合评价。