Parylene膜对半导体激光器性能的影响

摘要

为了解决潮湿对半导体激光器的危害,采用真空气相沉积工艺制备了用于半导体激光器的新型保护膜,即聚对二甲苯(parylene)涂敷膜。探讨了工艺条件对N型和C型parylene薄膜质量的影响。分别使用椭偏仪、紫外分光光度计测试膜的吸收系数和反射系数,研究了parylene薄膜对半导体激光器出光性能的影响。在808 nm半导体激光器上涂覆厚度为1.65μm的parylene膜,24 h的湿热和盐雾环境实验结果表明,半导体激光器性能优于未涂覆parylene膜半导体激光器的性能。Parylene膜对半导体激光器起到了很好的保护作用,腔面基本完好,提高了半导体激光器的稳定性和可靠性。