热处理对AlN陶瓷的热导率及介电性能的影响

摘要

采用放电等离子烧结技术制备Al N陶瓷,并利用真空无压烧结方法进行热处理。研究了不同烧结助剂在高温热处理过程中对Al N陶瓷的物相组成、显微结构、导热性能及介电性能的影响。结果表明,Al N陶瓷经过热处理后,Al N晶粒进一步发育长大,尽可能实现面接触,材料中的晶间相分布更加合理。与只引入单一稀土氧化物为烧结助剂的Al N陶瓷相比,引入复合烧结助剂稀土氧化物及氟化钙(Ca F2)的Al N陶瓷经过热处理后,在有效除氧及生成具有挥发性晶间相双重效果作用下,材料热导率及介电损耗改善效果明显。