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张燕陵; 宁兆元; 任兆杏;
中国科学院等离子体物理研究所;
合肥230031;
氧化锌; 薄膜; 等离子体; 溅射; 沉积;
机译:射频磁控溅射在Si(100),SiO 2 sub>和ZnO衬底上室温制备c轴取向ZnO薄膜
机译:直流溅射c轴取向ZnO薄膜在室温下的臭氧感测特性
机译:磁控溅射在聚合物基底上室温沉积柔性透明导电掺杂Ga的ZnO薄膜
机译:使用RF磁控溅射在室温下缺陷Frect C轴取向氧化锌(ZnO)薄膜
机译:使用不平衡磁控溅射制造适用于薄膜晶体管的掺镓ZNO薄膜。
机译:射频直流和射频叠加直流磁控溅射沉积的透明导电掺铝ZnO多晶薄膜的载流子输运和晶体学取向特征
机译:在玻璃上室温沉积ZnO和al:ZnO超薄膜 和DC基板溅射技术
机译:温度,生长动力学和基底对RF轴外溅射沉积YBa(sub 2)Cu(sub 3)O(sub 7)薄膜微观结构的影响
机译:利用原子层沉积生长C轴取向ZnO薄膜的方法和使用该方法生长的光学器件
机译:用于通过蒸发或溅射沉积在基底上沉积导电薄膜的过程中测量电阻和温度的系统
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