六氟化钨中微量氟化氢的红外光谱分析

摘要

采用红外光谱法对六氟化钨（WF6）中的氟化氢（HF）进行定量分析,HF共有8个吸收峰,考虑定量的灵敏度及避免测定干扰,选择波数4 039.2 cm–1作为HF的定量峰位。通过测定不同含量的HF标准气体,建立其含量与定量峰位的吸光度相对应的标准曲线。标准曲线的线性范围（体积分数）为1.60×10–6~10×10–6,相关系数为0.999 4。该方法简便快捷,结果重复性好,可应用于工业化生产的分析。