微型FBAR滤波器芯片

摘要

薄膜体声波谐振器（FBAR）技术，是一种基于声体波谐振的新技术。当一交变射频电压施加于两电极之间时，在压电薄膜内形成交变电场。通过压电薄膜的逆压电效应产生的机械形变激发体声波、在两电极问来回反射，当体声波的传播为半波长或半波长的奇数倍时发生谐振。和声表面波滤波器相比，FBAR滤波器具有体积小、带外抑制高、插入损耗小以及可集成于微波单片电路中的优点。