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王志越; 巩小亮; 付丙磊;
中电科电子装备集团有限公司;
北京100070;
中国电子科技集团公司第四十八研究所;
长沙410111;
华锦控股集团有限公司;
北京100000;
第三代半导体; 制造装备; 半导体产业;
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