高能量全固态355nm紫外激光器

摘要

为满足脉冲激光沉积镀膜技术对激光光源的要求,研制了低重频、高能量全固态紫外激光器。采用凹凸非稳谐振腔结构,使用高速电光Q开关进行调制,通过氙灯泵浦Nd:YAG激光晶体产生1064 nm脉冲种子光,经腔外两级单通放大,得到能量大于1J的1064 nm基频光。采用LBO晶体进行倍频与和频,在重频10Hz时得到紫外光最高能量170 m J,峰值功率22 MW,脉宽7.7 ns。