不等电位空心阴极Ar等离子体放电发射光谱的诊断

摘要

等离子体中电子激发温度是等离子体的一个重要物理参数之一，对材料表面改性具有非常重要的意义。本实验以时气为工作气体，利用发射光谱法对双层辉光放电等离子体参数进行在线诊断。依据气体放电中的光谱发射谱线强度与等离子体的电子激发温度有关，本实验选择了650～800nm范围舡原子谱线，通过玻尔兹曼方程，采用多线一斜率法对等离子体电子激发温度进行了估算。实验研究了工件电压、源极电压、工作气压等工艺参数对电子激发温度的影响，测量了电子激发温度的空间分布。实验结果表明，随工件电压的升高，电子激发温度先减小后增大，变化过程中有一个电子激发温度突变过程；不同工件电压下，工作气压对电子激发温度的影响规律不同；空间分布测量可知，中间部位处的电子激发温度要比两边高；而源极电压较小时，对电子激发温度影响不太明显。