首页> 中文期刊> 《真空科学与技术学报》 >气体流速对SiO2/S涂层中试制备的影响

气体流速对SiO2/S涂层中试制备的影响

         

摘要

为了抑制乙烯裂解炉管内表面结焦,在实验室小试的基础上,对SiO/S涂层进行了中试制备研究。并分析了不同气体流速对涂层形貌和结构的影响,优化了涂层中试制备工艺。采用扫描电子显微镜和Raman光谱对涂层形貌、成分和结构进行了表征。对优化后涂层的热冲击性能进行了考核。结果表明:随着气体流速的增加,炉管出VI涂层粒子逐渐变小,结合也更加致密。同时,涂层厚度及Si—O—S结构逐渐增加。当气体流速为30~40m/s时,炉管出口涂层厚度为8~10μm,粒子结合致密。涂层经过16次热冲击试验后仍未剥落,可以满足抑制炉管结焦使用要求。

著录项

相似文献

  • 中文文献
  • 外文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号