人工机械瓣材料上沉积类金刚石膜及耐磨性研究

摘要

采用磁过滤阴极真空弧源法对低温热解碳瓣叶和瓣环内Ti6Al4V贴片进行了类金刚石膜沉积,并利用模拟摩擦磨损试验检验了薄膜耐磨性,采用X射线光电子能谱检测了薄膜化学键结构。结果表明:利用A3工艺在瓣环内Ti6Al4V贴片上制备了sp3键含量约为66.9%的类金刚石膜,该薄膜在模拟体液中具备较好的耐磨性,同时,缩短每轮镀膜时间降低了薄膜沉积温度,有利于增加薄膜sp3键含量,提高耐磨性;利用B工艺在瓣叶边缘上沉积了sp3键含量约为67.9%的类金刚石膜,该薄膜与A3工艺镀膜后的瓣环内Ti6Al4V贴片配合进行了模拟摩擦磨损试验,体现出较好的耐磨性。