真空灭弧室真空度在线检测系统

摘要

为了能够准确地判断真空灭弧室的在线工作状态,本文基于屏蔽罩电位法原理研制了一种高精度耦合电容传感探头来采集灭弧室屏蔽罩上的交流电位信号;搭建了一套真空标定系统,获得了传感探头输出电压与真空度压强之间对应关系的拟合公式;基于所获得的拟合公式,设计了一套基于DSP F2812和STM32为微处理器的真空度在线检测系统。系统采用无线通信模块nRF24L01传输数据,解决了高电压复杂磁场下的数据传输等问题。试验结果表明,在6 k V高压环境下,该系统能够完成在10-2Pa真空度压强范围内的测量,其精度能够满足大部分的工程实际应用。