Al/Ti双层薄膜TES的光子数分辨特性表征

董文慧; 张青雅; 刘建设; 李铁夫; 陈炜

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Al/Ti双层薄膜TES的光子数分辨特性表征

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报道了Al/Ti双层薄膜超导TES的光子数分辨特性.通过设计双层薄膜的尺寸,使其满足光子数分辨所需的热导、热容需要,制备出了完好的TES.在320mK的低温下,通过测试其对1550nm光脉冲的响应,发现等效光子数分辨率可达到40个左右.这是使用超导TES实现单光子探测及进一步实现量子通讯的重要基础.

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来源
《低温与超导》 |2014年第11期|44-47|共4页
作者
董文慧; 张青雅; 刘建设; 李铁夫; 陈炜;
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作者单位

清华大学微电子学研究所,清华信息科学与技术国家实验室,北京100084;

清华大学微电子学研究所,清华信息科学与技术国家实验室,北京100084;

清华大学微电子学研究所,清华信息科学与技术国家实验室,北京100084;

清华大学微电子学研究所,清华信息科学与技术国家实验室,北京100084;

清华大学微电子学研究所,清华信息科学与技术国家实验室,北京100084;

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正文语种 chi
中图分类
关键词
Al/Ti双层薄膜; TES; 光子数分辨;

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