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一种新型表面轮廓仪的设计

         

摘要

针对传统表面轮廓测量方法存在的速度慢、测量不准确、对透明物体难以测量及测量信号误差较大且不易处理等问题,设计了一种新型表面轮廓仪.通过温度补偿方法,对电涡流位移传感器进行了温度补偿.基于LabVIEW,设计了人机交互界面.试验表明该轮廓仪具有一定的可行性.

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