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吕良; 曹立佳;
中石化燕山分公司生产运行保障中心,北京102500;
北京康吉森自动化设备技术有限公司工程部,北京101138;
裂解气压缩机; 三重化冗余; ITCC;
机译:史诗在溅射离子泵控制系统中的应用及CSRE真空控制系统改造
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