洁净间不同洁净等级之间的气流调整

摘要

针对单向垂直流洁净间内,不同洁净等级之间的气流流向问题,为了保证产品良率,通过调节洁净间顶部FFU、工艺设备自带EFU的转速和调整地板开孔率的大小,使洁净间保持良好的气流流向.最后,对不同洁净等级设备之间的气流流向进行调节,现场实验结果表明所提方法的有效性和实用性.