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四氟化硅的研究进展

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摘要

四氟化硅是目前电子工业的重要原料,特别是在多硅晶行业的快速发展下,四氟化硅需求量显著提升,相关研究也取得了显著进展.本文将对四氟化硅研究进展进行总结和分析,包括氟硅酸盐热解工艺、硫酸法制备工艺、氢氟酸法制备工艺等.

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来源
《建材与装饰》 |2018年第32期|188-189|共2页
作者
何元琴;
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作者单位

黔西南民族职业技术学院贵州兴义 562400;

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正文语种 chi
中图分类硅及其无机化合物;
关键词
四氟化硅; 研究进展; 制备工艺;

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