中国电科集团超声扫描显微镜填补国内空白

摘要

近日，中国半导体行业协会、中国电子材料行业协会、中国电子专用设备工业协会、中国电子报共同评选出“第四届（2009年度）中国半导体创新产品和技术”36个项目。中国电子科技集团公司第45研究所研发的SSJ—100超声扫描显微镜荣获此奖项。