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光学平移装置行进横向漂移的干涉法测量

             

摘要

应用泰曼-格林干涉仪测量步进电机控制下光学平移装置行进时的横向漂移,鉴于步进装置行进时的震动和它引起的探头抖动干扰,提出一种基于小波变换滤波的条纹细分技术,以利于信号识别和精确测量.

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