PVD法及与电镀复合制备光纤腐蚀传感器的Fe-C合金敏感膜

摘要

用PVD法制备光纤腐蚀传感器(FOCS)的Fe-C合金敏感膜,在光纤纤芯上得到厚度大约1μm的Fe-C合金膜,而且光信号对敏感膜的腐蚀信息有响应.为了增加敏感膜的厚度,根据平面波导与圆柱波导的相似性,采用PVD与电镀复合的方法在平板石英玻璃上制备Fe-C合金膜,研究该膜层的形貌、结构和在不同NaCl溶液中的耐蚀性.结果表明:复合制备的Fe-C合金膜的结构和耐蚀性与普通碳钢近似,并初步监测了光信号对敏感膜腐蚀信息的响应,为光纤腐蚀传感器奠定了基础.