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宋志棠; 谢志峰; 王晓东; 翟继卫; 冯洁; 何进;
中国科学院上海微系统与信息技术研究所;
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;
中国科学院半导体研究所;
同济大学;
上海交通大学;
北京大学深圳研究生院;
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