具有热净化功能双模块集成湿度传感器技术研究

摘要

气象探测是指利用遥测和遥感手段进行从地面到对流层、平流层、中间大气层的温度、气压、湿度和风向风速的探测,其中湿度测量在国际上一直倍受关注.目前我国绝大部分湿度传感器采用国外产品,其价格昂贵,而国内暂时所用的国产湿度传感器的芯片一致性很差,长期稳定性不好、精度低,使用受到很大限制.在长期湿度测量中,对环境的耐受能力和长期稳定性是对湿度传感器的严酷考验,如在长期高湿的热带和亚热带环境或是大雾、湿度较高的雨季以及高空环境中出现的水凝结或结冰现象,解决这一问题的理想方案是在敏感芯片上集成除湿功能,避免测试数据失真及传感器失效现象,为此提出具有热净化功能双模块集成湿度传感器技术研究.