Composition-Dependent Characterization of Sb2Te3 Thin Films Prepared by Ion Beam Sputtering Deposition

著录项

• 来源
  《中国物理快报：英文版》 |2010年第8期|P.161-164|共4页
• 作者

  范平; 郑壮豪; 梁广兴; 蔡兴民; 张东平;

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• 作者单位

  Institute;

  of;

  Thin;

  Film;

  Physics;

  and;

  Application;

  College;

  Science;

  Technology;

  Shenzhen;

  University;

  518060;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 薄膜的生长、结构和外延;
• 关键词

  薄膜沉积; 离子束溅射; 溅射制备; 依赖性; Seebeck系数; X射线衍射分析; 表征; 化合物半导体;

  机译：薄膜沉积;离子束溅射;溅射制备;依赖性;Seebeck系数;X射线衍射分析;表征;化合物半导体;