Effect of substrate temperature on microstructure and optical properties of single-phased Ag20 film deposited by using radio-frequency reactive magnetron sputtering method

著录项

• 来源
  《中国物理：英文版》 |2011年第5期|P.323-327|共5页
• 作者

  马姣民; 梁艳; 郜小勇; 张增院; 陈超; 赵孟珂; 杨仕娥; 谷锦华; 陈永生; 卢景霄;

  展开▼
• 作者单位

  展开▼
• 收录信息 中国科学引文数据库(CSCD);中国科技论文与引文数据库(CSTPCD);
• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 薄膜的生长、结构和外延;
• 关键词

  衬底温度; 射频磁控溅射法; 光学特性; 微观结构; 电影; 单相; 扫描电子显微镜; 反射薄膜;

  机译：衬底温度;射频磁控溅射法;光学特性;微观结构;电影;单相;扫描电子显微镜;反射薄膜;