洁净室浮游粒子量低限度测点数的修正

摘要

探讨洁净室浮游粒子测点数的最低限度。测点按ＦＳ－２０９Ｄ的计算方法简化的查表法，在静态条件下测试，浮游粒子浓度的均值及其９５％置信上限均应符合规定，方可判定该室达到规定的洁净级别。结论：洁净室尤其是小于１０ｍ＾２的小洁净室浮游粒子量低限度测点数应修正为３点，以免评定失误。