光学加工及设备

摘要

TQ172.684 96021373 浮法抛光亚纳米级光滑表面=Float polishingsubnanometer—smooth surface[刊,中]/高宏刚,曹健林,陈星旦(中科院长春光机所应用光学国家重点实验室。吉林,长春(130022))∥光学学报。—1995,15(6)。—824—825 对现阶段进行的超光滑表面浮光抛光研究进行了总结,介绍了浮法抛光原理样机的基本结构,以及实现亚纳米浮法抛光的主要条件,并给出了亚纳米级光滑表面的检测结果。图2(严寒)