O432.1 98010045软X射线-真空紫外大电流空阴极光源的研究=Studies of high-current hollow cathodesource in soft X-ray and VUV[刊,中]/中科院长春光机所.吉林,长春(130022)//光学精密工程.-1997,5(1).-5-9描述了最近研制成功的用于软X射线-真空紫外光谱辐射传递标准光源的大电流空阴极光源。它由两个阴极、一个阴极和一个两级差分泵单元组成,工作电流2A,工作气体为氩和氦,气压10 Pa~100 Pa。
展开▼