光学加工及设备

摘要

TQ171.684 97010634超精密光学抛光研究的进展及其发展趋势=Developmentand feature of ultra precision opticalpolishing[刊,中]/滕霖,任敬心(西北工业大学.陕西,西安(710072))∥航空精密制造技术.—1996,32(3).—5—9综述了对精密光学抛光影响精度和质量的因素,对重要因素目前的研究进展进行了分析;