全息光子晶体LED的制作技术

摘要

在发光二极管（LED）表面制作二维光子晶体可以提高其外量子效率。本文提出一种利用激光全息技术将二维光子晶体结构制作于LED表面的新方法。这种二维光子晶体基于光栅衍射原理将限制在LED内的波导光提取出来。初步实验结果显示当在GaN基蓝光LED表面的ITO电流扩展层制作晶格常数为1．2微米、深度约0．2微米的二维六角光子晶体时，LED的发光强度提高了35％。