关于MOCVD自动化云端系统开发的探讨

摘要

MOCVD是LED外延片生产最为关键的设备，不仅决定LED产品的性能，也决定LED的生产成本。公司研发的MOCVD自动化云端系统可实现MocvD的配方修正、品质检测管理、制成品量测分析，将设备回馈的生产信息进行收集整理，建立完整的可回溯的生产档案，确保多MOCVD机台生产的外延片光均性、寿命等指标保持一致。取代长期延用的人工控制晶体生长过程，解决了专业技术人员匮乏、产品一致性低、合格率较难控制等问题。