一种高灵敏度形状检测新技术

摘要

应用光的干涉和衍射理论，系统地阐述了一种高灵敏度形状检测技术的基本原理，并提出了一新的测试方法，可以消除坐标影响荐，从而得到纯等高线条纹图，文中应用该技术，实际测量了带有几种压痕的平板表面的深度分布，分析了测量灵敏度和精度，给出了部分实验结果。