大量程气体流量传感器的仿真与设计

摘要

基于热传递原理,设计了一种大量程气体流量传感器.采用FLUENT进行结构的仿真,结合权重法确定传感器的最优结构模型.研究了传感元件的温度特性,确定了传感器的工作状态.设计了传感电路,对传感器进行了自动温度补偿.测量中采用两种不同的测量原理,使传感器能够检测微小流量和中、大流量,提高了传感器的测量范围.实验结果表明该传感器测量流量量程为0.14 m3/h～130 m3/h,测量误差优于1.5％.