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金属氧化物半导体电阻型气敏传感器作用机理

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摘要

根据实验所得规律,知金属氧化物表面发生的气—固、气—气反应及其相关的电子过程是气敏作用机理的基础.添加剂、表面处理、温度控制等都能够影响这些反应过程,可用来改善传感器的灵敏度和选择性.

著录项

来源
《传感技术学报》 |1992年第2期|53-64|共12页
作者
徐毓龙; 曹全喜;
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作者单位

不详;

不详;

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正文语种 CHI
中图分类 TP212;
关键词
气敏传感器; 金属氧化物; 半导体;

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