波长扫描方法测试光栅平动式光调制器的微间距

摘要

基于MEMS的光栅平动式光调制器(Grating Moving Light Modulator,简称GMLM)是通过改变结构中可动光栅上表面和下反射面之间的微间距来实现光能量的调制.对GMLM工艺进行了简单的介绍,采用波长扫描方法对GMLM测试样品的可动光栅上表面和下反射面之间的微间距进行了测试.重点分析了微间距的测试方法,并提出了双峰法和多峰法的数据处理方法.结果表明:采用多峰法使微间距测试精度提高了k倍,波长扫描方法测试结果和理论结果吻合.与VEECO公司测量结果(h=1.24μm)对比,利用波长扫描方法的相对测试误差小于1%;该测试方法精度达到纳米量级.