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赵晋敏; 李守荣; 王军波; 陈德勇; 刘磊; 史晓晶;
华北电力大学电气与电子工程学院,北京,102206;
中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,北京,100190;
扩散硅; 谐振式微机械压力传感器; 同频干扰; 非对称激励; 电磁激励和检测;
机译:热激励谐振式硅微结构压力传感器温度场研究(英文)
机译:热激励谐振式硅微结构压力传感器温度场研究
机译:谐振式压力传感器与无线连接的水位监控系统研究
机译:通过扩散增强融合(DEF)粘接,高温,绝缘硅压力传感器的绝缘硅压力传感器,粘合剂
机译:硅和III-V半导体内在缺陷扩散的多尺度建模与机器学习研究
机译:基于硅MEMS技术的高温环境高一致性光纤法布里 - 珀罗压力传感器
机译:横向驱动的谐振式压力传感器,带有蚀刻硅双膜片和组合梁
机译:基于Q因子测量的高分辨率大动态范围谐振式压力传感器
机译:非谐振式两光子吸收材料和非谐振式两光子发射材料,以及使用相同方法的非谐振式两光子吸收诱发方法和非谐振式两光子发射方法
机译:用于建模与绝缘体上硅器件的扩散区域相关的电容的方法,系统和程序存储设备
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