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郭林琪; 张梅菊; 金毅; 王禹森; 胡国胜; 杨伸勇; 张丛春;
上海交通大学微米/纳米加工技术国家重点实验室;
上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系;
北京长城航空测控技术研究所先进传感器技术中心;
薄膜热流传感器; Pt/Pt-13Rh热电堆; 塞贝克效应; 高温高热流;
机译:用于热流量传感器的高温热电堆制造工艺
机译:基于催化活化薄膜热电堆的H_2O_2检测气体传感器研究
机译:通过功率反馈控制通过取消热电堆电压来减少热流传感器漂移
机译:新型简并半导体材料的传输特性:基于硫属化物的热电系统和基于氧化镉的薄膜透明导电氧化物系统。
机译:热电堆传感器双模调制的新型红外温度测量
机译:I1.3 - 热电堆红外线传感器,具有精确图案的高温耐黑色吸收层
机译:高温热电偶和热流量计使用独特的薄膜 - 硬件热接合点
机译:温度传感器装置和使用该装置的辐射温度计,温度传感器装置的制造方法,使用光致抗蚀剂膜的多层薄膜热电堆和使用该热电堆的辐射温度计以及多层薄膜热电堆的制造方法
机译:使用相同温度和传感器元件的辐射温度计,制造温度传感器元件的方法,使用该传感器的辐射温度计,以及使用光致抗蚀剂膜的多层薄膜热电堆以及制造该多层薄膜的方法薄膜热电堆
机译:用作传感器或演员的微结构化设备,例如金属氧化物气体传感器,红外辐射器,流量传感器,高温计或其他基于热电堆的微传感器,在热活性区域和支撑之间具有热解耦聚合物
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