高稳定度高压电源的研究与系统特性分析

摘要

为提高200 kV级透射电子显微镜的性能,满足其分辨率优于0.25 nm的性能指标,要求配备最高输出电压为200 kV、稳定度优于2×10-6min的高稳定度高压电源.通过研究影响高压电源稳定度的直接因素,为高稳定度高压电源的研制提供了理论参考依据.分析了该款高压电源主电路原理和设计要点.建立了电源闭环稳压系统的数学模型,分析了系统频率特性,系统的良好增益裕度为电源的正常运行提供了保障.结合研制经验提出了改善高压电源整机性能的措施.