太阳能级多晶硅生产技术发展现状及展望

摘要

全面介绍了太阳能级多晶硅的生产技术现状及有代表性的新工艺、新技术的研究动态.太阳能级多晶硅生产技术主要包括西门子法、硅烷法和冶金法.冶金法因工艺简单、投资少、能耗低获得广泛的关注,但目前其产品达不到太阳能级硅的质量要求.展望未来,西门子法仍将是生产高纯度多晶硅的主流技术.