显微激光共焦拉曼散射仪性能快速测试方法

摘要

目的:研究显微激光共焦拉曼散射装置性能快速测定方法,为进行其他样品拉曼测定提供质量保证.方法:利用Horiba JY公司的LabRam INV倒置显微激光共焦拉曼散射仪进行硅片标准样的实验.利用硅片标准样进行系统校正,并利用标准样进行系统性能参数的测定.结果:实验得到硅片标准样位于520.7 cm-1的谱线强度随照射激光功率、共焦孔径和时间的变化曲线.结论:520.7 cm-1谱线强度随照射激光功率成线性关系,利用该谱线强度的变化可以间接反映照射到样品处的激光功率;520.7 cm-1谱线强度随共焦孔径的变化曲线可用于确定不同实验目的共焦孔径尺寸的设置;520.7 cm-1谱线强度随时间的变化曲线反映系统的稳定性,从而判断是否适合进行其他样品的测试.