53 Gbit/s高速单模940 nm垂直腔面发射激光器

摘要

制备了不同氧化孔径的940 nm垂直腔面发射激光器(VCSEL),选取氧化孔径为3,6,9μm的VCSEL进行了测试表征分析。氧化孔径为3,6,9μm的VCSEL的最高输出功率分别为2.92,6.79,10.49 mW,调制带宽分别为27.65,23.34,20.56 GHz。此外,氧化孔径为3μm的VCSEL在整个工作电流下都可实现单模工作,氧化孔径为6μm和9μm的VCSEL在较大电流下呈现少模和多模特性。最后,选取3μm氧化孔径的VCSEL进行数据传输测试,在非归零(NRZ)码下实现了传输速率53 Gbit/s。