多片多层液相外延新方法

摘要

为实现多层液相外延的批量生产,本文介绍一种新的液相外延装置——即“旋转插入法”。通过控制操作杆,可将衬底旋入各个溶液槽进行生长,该方法通过减小衬底之间溶体的厚度,有效地防止了溶体对流造成的影响,而获得光亮的外延层表面。装置结构简单,操作方便,不仅可进行一炉多片的单层生长,也适用于一炉多片的多层生长;同时,衬底片形状不受严格限制,适合于工厂批量生产,目前用于Ga1-xAlxAs红色发光材料的制备。