TFT-LCD金属电极的制造新技术

摘要

日本住友电工公司开发了TFT-LCD金属电极的制造新技术。此技术是将含有直径30nm银化合物的导电性墨水涂布在玻璃板上，然后进行烧结，最后光刻得到预期的金属电极图形。其电极刻蚀宽度达到5μm。