一种原位集成冲击片组件的制备及飞片驱动性能

摘要

为研究冲击片集成组件制造方法及其性能,采用化学气相沉积法(CVD)在爆炸箔基底上沉积制备了聚氯代对二甲苯(PC)飞片层,并且利用光刻方法原位集成了Su8-2150光刻胶加速膛,获得的加速膛厚度大于300 μm且壁面垂直度良好.利用光子多普勒速度(PDV)测量技术获得了该冲击片组件电爆炸驱动飞片的加速历程.对比了常规方法制造的冲击片组件(聚酰亚胺飞片)与相同参数集成冲击片组件的飞片加速历程.结果表明,两组加速历程基本一致.聚酰亚胺飞片与PC飞片在前80 ns内分别达到了最大速度的77％与80％,加速膛出口处飞片速度分别为3970 m·s-1和3906 m·s-1,两种冲击片组件驱动性能接近,飞片和加速膛的材料的改变对电爆炸驱动飞片过程未产生明显影响.