热退火对GaN阴极光电发射性能的影响

摘要

热退火不但可以减少GaN阴极样品中的各种缺陷和寄生电容,改善材料的结晶属性,而且可以改善样品的表面质量,对提高样品的光谱响应是一种有力的手段.对GaN阴极样品进行了不同温度、不同时间的退火处理,使样品的性能得到了改善,最优条件下样品的暗电流为200 pA,电阻率为1.6Ω·cm,最大光谱响应为0.19 A/W.依据光谱响应作为评估标准,可以得出,采用700℃热退火10 min制备出的阴极具有更高的光电发射性能,从而实现了GaN光电阴极的优化制备工艺.