Ta2O5薄膜与ITO膜之间相互作用的研究

摘要

本文提出了在ITO膜上用电子束蒸发的方法沉积了Ta2O5膜的界面情况，结果表明：用该法制备的试样，二者之间没有明显的相互作用，不影响ITO膜的导电性能。