小型四极质谱计的设计方案探讨

摘要

为推动真空四极质谱计的应用，现提出一种用户实用、性能稳定可靠、价低的真空质谱计设计方案，１）按超高真空和高真空要求分开设计质谱管；２）采用公差一致性组装四极杆；３）采用粗、长四极杆；４）充分利用离化室的高压强工作能力；５）内藏式离子流放大器；６）增强仪器电路的实用功能。最后举例了一台溅射镀膜机监控质谱计，无须配置质谱计减压真空系统和微机等辅助设计，就能进行正常气氛监控，其总投资只需常规设计的三分之