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施伟伟; 董一巍; 李明; 龚雨晗; 王晓燕; 张钰莹; 颜伊靖;
西安航空制动科技有限公司;
厦门大学航空航天学院;
预热装置; 路径; 热辐射;
机译:通过使用常压化学气相沉积对气体前体进行预热,在镍上完全可重现,低温合成高质量的几层石墨烯
机译:Fe-Ni(70 wt。%)催化从预热CH_4沉积化学气相沉积合成多壁C纳米管
机译:实验统计设计优化FeCo(Ni)/ SiO2气凝胶催化剂上多壁碳纳米管催化化学气相沉积合成
机译:使用CH {Sub} 4 / h {Sub} 2 / NH {Sub} 3气体的微波等离子体辅助化学气相沉积中的微波等离子体辅助化学气相沉积的原位等离子体诊断碳纳米管的生长
机译:高通量化学气相沉积系统的设计和优化,用于沉积用于光伏应用的黄铁矿薄膜。
机译:化学气相沉积甲基取代的硅烷制备的气体分离二氧化硅膜
机译:低温下类二氧化硅薄膜的等离子体辅助化学气相沉积的优化低温下类石英薄膜的等离子体辅助化学气相沉积的优化
机译:高压有机金属化学气相沉积反应器的优化设计
机译:通过气相沉积(即化学气相沉积(CVD)或压缩化学气相沉积(LPCVD))以及气体注入器,同时在半导体制造过程中同时涂覆多个晶圆的工具
机译:用于化学气相沉积装置的气体扩散台和化学气相沉积装置
机译:化学气相沉积装置的衬底,化学气相沉积装置以及使用化学气相沉积装置的基质的加热方法
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