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气相色谱—裂解炉联用分析硅氨烷高温裂解逸出气体

         

摘要

以气相色谱与高温裂解炉联用,对用于制备Si-C-N微粉的前体「SiCxNyHz」n在Ar气条件下高温裂解过程中所逸出的CH4、H2气体进行了分析。

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