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深蚀刻玻璃光波导光栅的研究

         

摘要

采用全息法制备了光刻胶光栅,并用该光栅掩膜离子蚀刻.刻得槽深为1.6μm的玻璃光栅.再采用K+/Na+交换法制备玻璃光波导光栅.用633nm波长激光由一端棱镜耦合输入,经过光栅,由另一端面输出.在实验中观察到多级布拉格衍射,一级布拉格衍射效率最高达90%.

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