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陈凯1; 彭冬冬2; 王华文1; 董为勇1;
[1]安徽凯盛基础材料科技有限公司 安徽蚌埠233010;
[2]蚌埠玻璃工业设计研究院 安徽蚌埠233010;
液环传感器转换器; 玻璃微珠 ; 固相转换器;
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机译:硅块体微机械角加速度传感器的研究
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